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等離子清洗機
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150L真空等離子清洗機

產品型號:TS-PL150MA

產品簡介: 表面活化改性等等,增加粘接性,提升附著力親水性能

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真空等離子清洗機產品參數:

型號 真空等離子清洗機TS-PL150MA
電源頻率 40KHz/13.56MHz
容量 150L
功率 0-1000W(可調)
腔體尺寸 (長寬高mm)500*500*600
處理層數 17層
外形尺寸 (長寬高mm)1200*1100*1730
真空泵 油泵/干泵+羅茨組合
真空度 5-100pa(可調)
腔體材質 316不銹鋼/進口鋁合金(選配)
氣體流量控制 0-500SCCM(MFC±2%)
氣體通道 兩路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02
等離子體發生器 40KHz/13.56MHz
腔體溫度 <30℃
控制方式 PLC+觸摸屏
系統控制軟件 自主研發V2.0
電極陶瓷 進口高頻陶瓷

等離子清洗原理

等離子清洗原理如下:等離子體與固體表面發生的反應可分為物理反應和化學反應,即分為物理清洗和化學清洗。物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面,使污染物脫離固體表面并被真空泵吸走;化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發性的物質,再由真空泵吸走。

就反應機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為等離子態;氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。典型的等離子體化學清洗工藝是氧氣等離子體清洗。主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。通過等離子體產生的氧自由基非?;顫?,容易與碳氫化合物發生反應,產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物,從而去除表面的污染物。

等離子體清洗的特點:

等離子體清洗技術的最大特點是對幾乎所有的基材類型,均可進行處理。對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚脂、聚丙烯、聚酰亞胺、環氧樹脂、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理。等離子體清洗還具有以下幾個特點:用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害;容易采用數字控制技術,自動化程度高;整個工藝流程效率極高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;且正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。

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